ສ່ວນປະກອບ optical ໃນເຄື່ອງຈັກ lithography

ການອອກແບບ optical ມີໂປແກຼມຫລາກຫລາຍໃນສະຫນາມ semiconductor. ໃນເຄື່ອງຂອງຮູບຖ່າຍ, ລະບົບທີ່ຮັບຜິດຊອບແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການສຸມໃສ່ກະດານແສງທີ່ປ່ອຍໂດຍແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງແລະການວາງມັນໃສ່ຊິລິໂຄນທີ່ wafer ທີ່ຈະເປີດເຜີຍຮູບແບບວົງຈອນ. ເພາະສະນັ້ນ, ການອອກແບບແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງສ່ວນປະກອບ optical ໃນລະບົບຂອງຮູບພາບແມ່ນວິທີທີ່ສໍາຄັນໃນການປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງ Photulithography. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນບາງສ່ວນປະກອບ optical ທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງຈັກ Photulithography:

ຈຸດປະສົງການຄາດຄະເນ
01 ຈຸດປະສົງການຄາດຄະເນແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນເຄື່ອງຫມາຍທີ່ສໍາຄັນໃນເຄື່ອງຫມາຍທີ່ມີກະແສໄຟຟ້າ, ປົກກະຕິແລ້ວປະກອບດ້ວຍເລນຊຸດລວມທັງເລນທີ່ມີເລນ, ເລນ concave, ແລະ prisms.
02 ຫນ້າທີ່ຂອງມັນແມ່ນການຫົດຮູບແບບຂອງວົງຈອນໃສ່ຫນ້າກາກແລະເອົາໃຈໃສ່ມັນໃສ່ບ່ອນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ມີຮູບຮ່າງ.
03 ຄວາມຖືກຕ້ອງແລະການປະຕິບັດຈຸດປະສົງການຄາດຄະເນມີອິດທິພົນທີ່ຕັດສິນກ່ຽວກັບຄວາມລະອຽດແລະຄຸນນະພາບຂອງເຄື່ອງ lithaging

ແວ່ນແຍງ
01 ກະຈົກຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປ່ຽນທິດທາງຂອງແສງສະຫວ່າງແລະທິດທາງມັນກັບສະຖານທີ່ທີ່ຖືກຕ້ອງ.
ເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າທີ່ມີ EUV Lithography, ກະຈົກແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະເພາະວ່າໄຟ EV ຖືກດູດຊືມໂດຍວັດສະດຸ, ດັ່ງນັ້ນກະຈົກທີ່ມີການນໍາໃຊ້ທີ່ສູງທີ່ສຸດ.
03 ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງດ້ານແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງເຄື່ອງສະທ້ອນຂອງເຄື່ອງສະທ້ອນກໍ່ຍັງມີຜົນກະທົບຢ່າງໃຫຍ່ຫຼວງຕໍ່ການສະແດງຂອງເຄື່ອງ Lithography.

ໂຕກອງ
01 ຕົວກອງແມ່ນໃຊ້ເພື່ອກໍາຈັດຄື້ນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຂອງແສງສະຫວ່າງ, ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການຖ່າຍຮູບພາບ.
02 ໂດຍການເລືອກຕົວກອງທີ່ເຫມາະສົມ, ມັນສາມາດຮັບປະກັນໄດ້ວ່າມີພຽງແຕ່ແສງສະຫວ່າງຂອງເຄື່ອງຫມາຍໃສ່ເຄື່ອງຫມາຍທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ lithogracy.

prisms ແລະສ່ວນປະກອບອື່ນໆ
ນອກຈາກນັ້ນ, ເຄື່ອງຈັກ lithography ຍັງສາມາດໃຊ້ສ່ວນປະກອບ optical ອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: prisms, polarizers, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການ lithography ສະເພາະ. ການຄັດເລືອກ, ການອອກແບບແລະການຜະລິດສ່ວນປະກອບ optical ເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານແລະຄວາມຕ້ອງການດ້ານເຕັກນິກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມລະມັດລະວັງແລະປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງ lithography.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ການນໍາໃຊ້ສ່ວນປະກອບ oponic ໃນພາກສະຫນາມຈຸດປະສົງເພື່ອປັບປຸງອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດຂອງ microgoctronics. ດ້ວຍການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະການປະດິດສ້າງຂອງສ່ວນປະກອບ optical ກໍ່ຈະມີຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຊິບລຸ້ນຕໍ່ໄປ.

ສໍາລັບຄວາມເຂົ້າໃຈແລະຄໍາແນະນໍາຂອງຜູ້ຊ່ຽວຊານເພີ່ມເຕີມ, ເຂົ້າເບິ່ງເວບໄຊທ໌ຂອງພວກເຮົາທີ່https://www.jiujonopticts.com/ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບຜະລິດຕະພັນແລະວິທີແກ້ໄຂຂອງພວກເຮົາ.